Cách chọn encoder HEIDENHAIN phù hợp cho ngành công nghiệp bán dẫn

Tiên Vũ

Posted by Tiên Vũ on 15th January, 2024

Mặc dù có thể sở hữu tất cả các công nghệ tiên tiến như băng thông, trí tuệ nhân tạo và cảm biến quang học trên toàn thế giới, nhưng nếu một công cụ bán dẫn không thể đạt được độ chính xác ở cấp độ nanomet mà không ảnh hưởng đến hiệu suất là một thách thức đáng kể. Khi mục tiêu đặt ra là thực hiện các phép đo chính xác trong thời gian ngắn, tốc độ cực đại của trục hệ thống chuyển động không còn quan trọng nếu không thể đo được một điểm trên tấm bán dẫn trong thời gian ổn định.

Những sự đánh đổi như vậy xuất hiện thường xuyên trong lĩnh vực chất bán dẫn với thông lượng cao và cấp độ nanomet. Mặc dù hệ thống truyền động và tính toàn vẹn của cấu trúc đóng một vai trò quan trọng, nhưng việc sử dụng encoder cũng rất quan trọng để đảm bảo sự kết hợp hoàn hảo giữa tốc độ, độ chính xác và ổn định điều cần thiết cho các quy trình nâng cao.

Cách chọn encoder phù hợp cho máy móc bán dẫn
Cách chọn encoder phù hợp cho máy móc bán dẫn

1. Chọn giải pháp phản hồi chuyển động phù hợp

Để đáp ứng nhu cầu của các thiết bị máy móc, các kỹ sư hiện nay đang đối diện với một loạt các giải pháp phản hồi chuyển động, cung cấp cả giải pháp cho cả chuyển động tuyến tính và chuyển động quay. Mặc dù ngày nay, có sự gia tăng đáng kể trong việc ứng dụng công nghệ mới, nhưng các yếu tố quan trọng cần xem xét vẫn giữ nguyên trên cả các loại encoder khác nhau. Dưới đây là những điểm cần lưu ý quan trọng khi quyết định lựa chọn sản phẩm phù hợp:

  1. Môi trường vận hành của encoder: Điều kiện môi trường như độ rung, chân không, nhiệt độ, và các yếu tố tương tự.

  2. Hạn chế cơ học: Các hạn chế trong không gian lắp đặt và phương pháp lắp đặt của encoder.

  3. Mức độ chính xác yêu cầu: Đánh giá cần thiết về mức độ chính xác.

  4. Tốc độ đạt được để đạt mức độ chính xác.

  5. Chấp nhận được mức độ lỗi nội suy.

Chọn giải pháp phản hồi chuyển động phù hợp
Chọn giải pháp phản hồi chuyển động phù hợp

2. Xem xét các thông số kỹ thuật

Khi đã xác định được các yếu tố trên, việc thu gọn số lượng lựa chọn có sẵn có thể thực hiện một cách hiệu quả. Trong quá trình lựa chọn loại encoder, có thể xem xét các biến thể cơ học, quang học, từ tính hoặc cảm ứng. Ví dụ, trong các tình huống yêu cầu hoạt động trong môi trường chân không và có hạn chế về không gian, sự lựa chọn có thể bị hạn chế đối với các sản phẩm như Numerik Jena LIK 41 hoặc KIT L Series. Khi ứng dụng chân không đòi hỏi độ chính xác cao, như trong chế tạo mặt nạ quang, cần cân nhắc tính phù hợp của các sản phẩm như LIF 471V hoặc 481V, kèm theo xem xét các yêu cầu về giao diện. Ngoài ra, nếu độ chính xác cực kỳ quan trọng, thì lựa chọn ưu tiên có thể đưa về LIP 481V. Cuối cùng, việc đánh giá mạnh mẽ các thông số kỹ thuật bổ sung trong danh mục sản phẩm trở nên cực kỳ quan trọng để đưa ra quyết định cuối cùng đầy sáng suốt.

Thông số kỹ thuật encoder LIP 481V Heidenhain
Thông số kỹ thuật encoder LIP 481V Heidenhain

3. Tầm quan trọng của chuẩn đo lường

Trong hoạt động của encoder, không kể là cho chuyển động tuyến tính hay chuyển động góc, một phần quan trọng nằm ở tiêu chuẩn đo lường của nó, cụ thể là độ chia độ trên thước dây. Số lượng dòng của thang đo có tầm ảnh hưởng lớn, tuy nhiên cách thức tạo ra và áp dụng chúng trong các khoảng thời gian chính xác cũng cực kỳ quan trọng. Chúng ảnh hưởng đến các quy trình độc quyền được phát triển để giải quyết vấn đề này. Các thiết kế OPTODUR, SUPERADUR và METALLUR đã được tinh chỉnh để tạo ra các cấu trúc 3D với độ nét cạnh đặc biệt cao và khả năng chống ô nhiễm, điều này mang lại lợi ích không chỉ trong quá trình sản xuất bán dẫn mà còn ở cả giai đoạn trước và sau. Điều quan trọng hơn, những cấu trúc này có chiều cao rất thấp, giảm thiểu diện tích bề mặt có sẵn cho sự tích tụ bụi, chất bẩn hoặc chất lỏng. Độ chia độ của encoder không chỉ ảnh hưởng đến hiệu suất ngay lập tức mà còn đảm bảo chất lượng ổn định và bền vững theo thời gian.

4. Tin cậy và xác minh: đảm bảo giải pháp phản hồi chuyển động phù hợp

Trong lĩnh vực máy bán dẫn, các bộ phận đều phải tuân theo các tiêu chuẩn đặc biệt nghiêm ngặt và các kỹ sư ưu tiên các bộ phận truyền cảm hứng cho sự tự tin về khả năng hoàn thành nhiệm vụ trước mắt của họ. Khi chọn encoder, sự kỳ vọng ngầm từ người dùng là sản phẩm đã trải qua quá trình kiểm tra và xác nhận toàn diện để tuân thủ các tiêu chuẩn rất cụ thể. Danh mục của chúng tôi chứa nhiều kết quả thử nghiệm và thông số kỹ thuật đã được xác minh, giúp người dùng tin tưởng vào hiệu suất của từng thành phần.

Sự cống hiến của chúng tôi đối với việc kiểm tra nghiêm ngặt được thể hiện bằng việc đánh giá các khoảng thời gian trong thang đo encoder, giúp người dùng có thể đưa ra dự đoán hiệu suất chính xác hơn. Quá trình này liên quan đến việc xác định ban đầu độ rộng khoảng mà độ chính xác sẽ được nêu. Sau đó, thang đo được đo tỉ mỉ trên toàn bộ chiều dài đo theo từng bước chính xác, nhỏ gọn với độ rộng khoảng được chỉ định. Cuối cùng, các lỗi cơ sở không được bù trên mỗi chiều rộng khoảng được đánh giá kỹ lưỡng, với giá trị tối đa của lỗi cơ sở trên tất cả các khoảng đo được chỉ định là giá trị kém nhất trên encoder đó.

Xác định độ chính xác
Xác định độ chính xác

Với các phương pháp thử nghiệm toàn diện như vậy theo ý của chúng tôi, kết hợp với sự tập trung không ngừng vào nghiên cứu và phát triển cũng như tiêu chuẩn đo lường độc quyền của chúng tôi, chúng tôi có thể xác định và cung cấp một số số liệu hiệu suất điều khiển chuyển động đáng chú ý nhất trên toàn cầu – chính xác là những gì ngành công nghiệp bán dẫn cần. Dưới đây là một vài ví dụ về khả năng phản hồi phức tạp hiện có:

5. Bộ mã hóa tuyến tính hở - encoder tuyến tính hở - exposed linear encoder

Encoder tuyến tính hở HEIDENHAIN hoạt động mà không có tiếp xúc cơ học giữa đầu quét và cân hoặc thước đo.

  • Độ chính xác giảm xuống ± 0,5 µm

  • Các bước đo xuống tới 0,001 µm (1 nm)

  • Lỗi nội suy: ± 0,01 nm

Encoder tuyến tính hở HEIDENHAIN
Encoder tuyến tính hở HEIDENHAIN

6. Bộ mã hóa góc - encoder góc - angle encode

Encoder được phân loại là encoder góc khi độ chính xác cao hơn ±5” và có số dòng trên 10.000.

  • Chu kỳ tín hiệu lên tới 360.000

  • Độ chính xác xuống tới ± 0,4"

  • Các bước đo: tối đa 0,00001° hoặc 0,036” (tăng dần) hoặc 29 bit, tức là khoảng. 536 triệu vị trí trên mỗi vòng quay (tuyệt đối)

Encoder góc HEIDENHAIN
Encoder góc HEIDENHAIN

7. Khám phá lợi ích của encoder HEIDENHAIN: Liên hệ AMS

Trong việc tìm kiếm nguồn cung cấp các bộ phận điều khiển chuyển động và đo lường chính xác cao như encoder, sự quan trọng của các đối tác tin cậy không thể phủ nhận. Trong lĩnh vực encoder và máy móc bán dẫn, HEIDENHAIN đã chứng tỏ mình là một tên tuổi hàng đầu toàn cầu trong việc cung cấp các giải pháp hàng đầu để đáp ứng nhu cầu chính xác của ngành công nghiệp.

Khám phá lợi ích của encoder HEIDENHAIN
Khám phá lợi ích của encoder HEIDENHAIN

Tại thị trường Việt Nam, Công ty TNHH Thương mại và Dịch vụ Kỹ thuật AMS nổi bật là đơn vị phân phối độc quyền các sản phẩm của HEIDENHAIN. Với cam kết về chất lượng tối đa, AMS cam kết rằng khách hàng sẽ tiếp cận được những sản phẩm HEIDENHAIN chính hãng, được hỗ trợ bởi chính sách bảo hành uy tín cũng như chính sách bảo trì toàn diện của hãng.

Công ty TNHH Thương mại và Dịch vụ Kỹ thuật AMS là nhà phân phối chính thức của Heidenhain tại Việt Nam
Công ty TNHH Thương mại và Dịch vụ Kỹ thuật AMS là nhà phân phối chính thức của Heidenhain tại Việt Nam

Điều kiện hàng đầu là khách hàng cần nhận biết rằng, khi họ mua sản phẩm HEIDENHAIN từ các nguồn cung cấp khác ngoài AMS, họ có thể không nhận được sự hỗ trợ đầy đủ từ các chính sách bảo hành và bảo trì của HEIDENHAIN. Điều này đồng nghĩa rằng trong trường hợp xảy ra vấn đề với sản phẩm, HEIDENHAIN có thể không thể cung cấp hỗ trợ cần thiết, dẫn đến gián đoạn và chi phí không lường trước.

Để bảo vệ khoản đầu tư của quý vị và đảm bảo nhận được đầy đủ lợi ích từ các sản phẩm chính hãng HEIDENHAIN, chúng tôi khuyến khích độc giả và khách hàng liên hệ với AMS để đáp ứng nhu cầu chính xác và điều khiển chuyển động của họ. Bằng cách chọn AMS làm đối tác cung cấp sản phẩm HEIDENHAIN chất lượng, quý vị có thể yên tâm rằng mình đang nhận được những bộ phận chính hãng và sự hỗ trợ toàn diện, góp phần tối đa hóa giá trị và hiệu suất của máy móc bán dẫn.

Công ty TNHH Thương mại và Dịch vụ Kỹ thuật A.M.S
243/9/10D Tô Hiến Thành, phường 13, quận 10
Hot line: 028.3868 3738/3903 - Fax: 028.3868 3797